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        本次版本的特種氣體在電子化工新材料項目范疇，涉及氣體種類高達20種。相較于2018版，本次新增加的電子特氣是超高純氙氣和5種超高純電子混合氣體：超高純鍺烷混氫(GeH4/H)、超高純鍺烷混氫(GeH4/H2)、超高純乙硼烷混氫(B2H6/H2)、超高純乙硼烷混氮氣、超高純磷烷混氫氣(PH3/H2)。

 

重點新材料首批次應用示范指導目錄(2019年版)

        此次公布的重點新材料包括20種特種氣體：高純氯氣、三氯氫硅、鍺烷、HCL、N2O、COS、B2H6、AsH3、PH3、SiH4、二氯二氫硅、高純三氯化硼、六氯乙硅烷、四氯化硅、超高純氙氣、超高純鍺烷混氫(GeH4/H)、超高純鍺烷混氫(GeH4/H2)、超高純乙硼烷混氫(B2H6/H2)、超高純乙硼烷混氮氣、超高純磷烷混氫氣(PH3/H2)。