發(fā)布時(shí)間：2026-09-30
2026年9月16日至18日，由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分會主辦、山東重山光電材料股份有限公司承辦的《電子氣體 三氟化硼-11（11BF?）》國家標(biāo)準(zhǔn)制定工作組會議，在山東淄博正式召開。來自各標(biāo)準(zhǔn)起草單位、電子氣分會的委員代表及秘書處成員通過線上線下結(jié)合的方式參會，共同啟動這項(xiàng)關(guān)鍵電子特氣的國家標(biāo)準(zhǔn)編制工作。
本次會議聚焦半導(dǎo)體核心材料標(biāo)準(zhǔn)化建設(shè)，正式組建標(biāo)準(zhǔn)編制工作組，與會代表圍繞標(biāo)準(zhǔn)草案的技術(shù)指標(biāo)、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則等核心內(nèi)容展開充分討論，明確了草案修改方向、全周期工作進(jìn)度及各單位分工安排，為后續(xù)標(biāo)準(zhǔn)落地筑牢基礎(chǔ)。
三氟化硼-11（11BF3）是半導(dǎo)體p型離子注入環(huán)節(jié)的核心硼同位素?fù)诫s源，是支撐高端芯片、航空航天電子器件性能提升的關(guān)鍵特種電子氣體。此前國內(nèi)該領(lǐng)域無統(tǒng)一國家標(biāo)準(zhǔn)，本次標(biāo)準(zhǔn)的制定將填補(bǔ)行業(yè)國標(biāo)空白，為產(chǎn)品生產(chǎn)、檢驗(yàn)、儲運(yùn)建立統(tǒng)一技術(shù)規(guī)范，對完善我國電子特氣標(biāo)準(zhǔn)體系、保障集成電路產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主安全具有重要意義。
作為本次會議承辦方與核心起草單位，重山光電在高豐度硼同位素電子特氣領(lǐng)域擁有多年技術(shù)積累與成熟量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。會議期間，全體線下參會代表前往重山光電研發(fā)生產(chǎn)基地實(shí)地考察，對硼同位素富集、高純氣體提純等核心技術(shù)成果給予高度認(rèn)可。后續(xù)重山光電將聯(lián)合各參與單位全力推進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)編制各項(xiàng)工作，以標(biāo)準(zhǔn)引領(lǐng)行業(yè)國產(chǎn)化進(jìn)程，助力半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。