2024年1月14-16日，公司受邀參加了在上海召開的2024中國(guó)新材料技術(shù)與半導(dǎo)體應(yīng)用大會(huì)暨半導(dǎo)體材料高端論壇。上百名來自政府部門、科研界、產(chǎn)業(yè)界的專業(yè)人士匯聚一堂，共謀中國(guó)半導(dǎo)體材料創(chuàng)新發(fā)展之路。
公司副董事長(zhǎng)、總工程師方治文教授應(yīng)邀在本次大會(huì)的電子工藝化學(xué)品與電子氣體分會(huì)場(chǎng)，就“半導(dǎo)體制程用高豐度硼同位素分離富集技術(shù)研究及國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)展”進(jìn)行了主題演講，并向在場(chǎng)聽眾介紹了公司在硼同位素及其它含氟高純電子材料方面的研發(fā)工作進(jìn)展及取得的成果。
方治文教授做報(bào)告
公司2012年開始與天津大學(xué)合作，啟動(dòng)硼同位素分離富集技術(shù)研究，十年內(nèi)持續(xù)投入研發(fā)中試經(jīng)費(fèi)上億元，于2020年全面突破關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，成功生產(chǎn)出硼11豐度>99.9%的三氟化硼11及硼10豐度>99%的三氟化硼10，并已成功量產(chǎn)。目前已批量給國(guó)內(nèi)大型面板企業(yè)、芯片企業(yè)、醫(yī)藥企業(yè)等供貨，率先實(shí)現(xiàn)了高豐度硼同位素材料在半導(dǎo)體等領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化替代。該項(xiàng)目于2022年4月通過中國(guó)石化聯(lián)合會(huì)組織的科技成果鑒定，技術(shù)水平達(dá)到國(guó)際先進(jìn)，擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。
深圳大學(xué)微電子研究院院長(zhǎng)、半導(dǎo)體制造研究院院長(zhǎng)王序進(jìn)院士（中），上海市新材料協(xié)會(huì)秘書長(zhǎng)何扣寶（左）等參觀展臺(tái)
公司在本次大會(huì)上獲頒“突出貢獻(xiàn)獎(jiǎng)”獎(jiǎng)牌與證書
